JHHG-HQ系列 SF6混合氣體回收回充凈化分離灌充裝置
 
推薦指數(shù):
智能化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單便捷
對(duì)SF6/N2混合氣體進(jìn)行回收及快速分離
自動(dòng)識(shí)別鋼瓶狀態(tài),自動(dòng)停止灌裝
大流量高精度質(zhì)量流量控制器
用于六氟化硫混合氣體快速回收、凈化、分離灌充
主要由氣路系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng) 、蒸發(fā)氣化系統(tǒng)、氣體預(yù)處理系統(tǒng)、氣體回收分離系統(tǒng)、 制冷液化模系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)、SF6氣體灌裝系統(tǒng)、動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)、增壓充氣系統(tǒng)、氣體檢測(cè)系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐以及智能控制系統(tǒng)等組成
采用膜分離技術(shù)或深冷固化分離技術(shù)對(duì)SF6混合氣體進(jìn)行氣體分離,N2氣體經(jīng)循環(huán)滲透后以高純狀態(tài)排放到大氣中
項(xiàng)目 | 規(guī)格 | |||
型號(hào) | JHHG10-HQ1 | JHHG20-HQ1 | JHHG30-HQ1 | |
混合比檢測(cè)(內(nèi)置) | 檢測(cè)對(duì)象 | SF6/N2 | ||
檢測(cè)范圍 | 0~100%(體積分?jǐn)?shù)) | |||
檢測(cè)精度 | ±0.5%(體積分?jǐn)?shù)) | |||
分辨率 | ±0.01%(體積分?jǐn)?shù)) | |||
SF6尾氣檢測(cè)(內(nèi)置) | 檢測(cè)靈敏度 | ≤1μL/L | ||
測(cè)量誤差 | ≤±5% | |||
配氣灌充
| 配氣濃度范圍 | 0-100% | ||
可選配氣氣體 | SF6、N2、CF4(氣體類型可選配:SF6或SF6+N2或SF6+CF4) | |||
配比精度 | ±0.5%(V/V%) | |||
配氣流量 | ≥15m3/h | ≥30m3/h | ≥45m3/h | |
O2混入量(體積分?jǐn)?shù)) | 不高于0.05% | |||
灌充壓力 | 1.5 MPa |